技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES
更新時間：2023-06-11
點(diǎn)擊次數(shù)：1230
有了MDPingot和MDPmap系列，就可以全自動地測量磚塊和硅片中的鐵濃度，而且分辨率非常高。鐵硼對解離前后的壽命測量是一種**使用的測定硅片中鐵的方法。在高摻雜濃度的摻硼硅中，因?yàn)樗挥糜诠夥鼞?yīng)用，幾乎100%的電活性鐵以FeB對的形式存在。在有足夠能量的光照下，這些鐵對可以在Fe和B中解離。這個過程是可逆的，在一段時間后，所有的FeB對都會再次結(jié)合。FeB和Fei有不同的重組特性，因此解離對測量的壽命有影響。在這種影響下，鐵的濃度可以通過以下方式確定：
對于鐵的測定，使用了一個校準(zhǔn)系數(shù)C，它取決于注入、摻雜濃度和陷阱濃度，這在多晶硅中必須加以考慮。通過MDP，可以對多晶硅和單晶硅進(jìn)行高分辨率的鐵濃度測定，并且由于模擬和多年的研究，還具有很高的精度。
照明前的壽命圖和產(chǎn)生的鐵圖
關(guān)于鐵的測定和校準(zhǔn)系數(shù)的依賴性的更多信息，請閱讀：
[1] S. Rein and S. W. Glunz, Journal of Applied Physics 98 (2005).
[2] N.Schüler, T.Hahn, K. Dornich, J.R. Niklas, Solid State phenomena to be published
陷阱濃度測定的工具
 |  |  |
MDPmap 單晶和多晶晶片壽命 測量裝置...... | MDPpro 單晶和多晶晶片和晶磚 壽命測量裝置...... | MDPspot 低成本臺式壽命測量系統(tǒng)，用于在不同制備階...... |
掃一掃，關(guān)注公眾號
服務(wù)電話：
021-34685181
上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號樓602室
wei.zhu@shuyunsh.com
服務(wù)熱線：
021-34685181
17621138977
當(dāng)前位置：